中科行智3D飞点分光干涉仪，推动偏光片薄膜沟槽深度检测发展！

液晶屏能够显示各种信息给人类，是现代电子技术、人工智能的重要基础单位，是人机交互的重要通道，具有十分重要的价值。液晶屏中最新的是源矩阵有机发光二级面板显示屏（amoled），因其特性受到了业界的广泛关注，其中偏光片是它的重要组成部分。偏光片分别由保护膜、三醋酸纤维素膜（TAC）、聚乙烯醇膜（PVA）、离型膜和压敏胶等结构层组成。在生产过程中，将原材料的膜通过拉伸、扩大等制作工艺，最终使偏光片整体透光效果均匀，从而为amoled的均匀发光效果提供保障。

偏光片是一种常见的偏振光学元件，应用非常广泛，在薄膜电晶体液体显示器（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD）型液晶显示面板中，必有两层偏振方向正交的偏光片。偏光片成品一般由 6 层微米级厚度的透明聚合物薄膜组成，其外观缺陷可能出现在任何一层。一旦出现凸凹点、异物、气泡、划痕等外观缺陷会直接降低显示面板的质量等级，甚至导致整个面板报废，因此偏光片外观缺陷检测就变得尤为重要。

1、案例需求：薄膜沟槽深度测量

2、解决方案：

采用3D飞点分光干涉仪系列，采集薄膜划痕狭缝数据，用GIVS 3D进行检测。

3、样品特点

多层透明薄膜、沟槽横向宽度窄

4、测量条件

扫描点数：100×400

扫描范围：0.3×1.2（mm）

5、软件工具

平面校正、点云转深度图、高度测量等。

6、检测方案

（1）点云数据采集；

（2）进行点云数据校正，将点云转成深度图；

（3）选择测量区域，进行高度测量。

3D飞点分光干涉仪是专业用于超高精度、镜面高反光及透明材质的纳米级测量仪。采用谱域白光干涉原理，实现300nm Z向绝对精度、30nm Z向重复精度，扫描帧率70kHz，最大直径80mm，可适用于测量强反射、弱反射及透明物体等多种物体，分光模块与光学振镜模块分离设计，加入光学振镜扫描可替代昂贵的高精密位移台。

产品可广泛应用于半导体晶圆、金线、BGA、AR镜片、精密接插件等亚微米级别的3D测量。

3D飞点分光干涉仪

苏州中科行智智能科技有限公司是由中科苏州机器视觉技术研究院孵化的一家高科技企业。初创人员均来自于国内知名科研机构的中青年科学家、基础技术研究人员、知名IT企业高层管理人员和技术骨干，在前沿技术研究、技术产业化、企业管理和运营等方面积累了丰富的经验。

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