清研电子干法基超容装置落地广东东莞，为半导体晃电治理树立新典范

2025年8月4日，清研电子董事长王臣、副总经理李鑫受邀出席东莞半导体制造头部企业干法基超容电能质量治理装置投产仪式，该装置能够实现3秒内断电条件下，设备依然安全、稳定发挥性能，有效解决了电能质量治理系统晃电问题，充分体现了清研电子干法极片的性能优势。

在半导体制造中，晃电是电能质量治理的常见难题。它会导致晶圆报废、设备突然宕机、控制系统失灵、维护成本飙升、生产中断等问题，且无法满足SEMI F47行业抗扰度标准。对此，本系统采用的晃电治理措施如下：预防阶段，采用双回路供电、动态电压恢复器（DVR）和干法超容储能实现毫秒级补偿；应对环节，干法超容储能保障关键负载供电，借助智能减载系统保供核心设备；恢复时期，通过数据备份和自愈控制让生产快速复原。

晃电（电压暂降）的危害

1、晃电会引起敏感控制器误动作（引起跳闸）,造成包括计算机系统失灵、自动化装置停顿或误动作、变频调速器停顿等故障；引起接触器脱扣或低压保护启动，造成电动机、电梯等停顿；引起高温光源（碘钨灯）熄灭，造成公共场所失去照明等。

2、晃电对诸多行业都会造成巨大的经济损失，如半导体产品硅片损坏及浪费，汽车发动机的产品报废，显示器产品报废，流水生产线的中断或紊乱等等。

3、晃电不仅造成经济损失，还可能造成人员伤亡和重大安全生产事故。例如，医院中用计算机控制的脑外科、心血管外科、眼科手术等，发生电压跌落造成设备不能正常工作，以致产生严重后果；

4、在石油化工行业，由于晃电（电压暂降）引发控制系统误动作，造成压力流量的短时间失控危险等等。

晃电治理的综合效益

1、通过对电压暂降、暂升的治理，防止设备故障停机损失，避免原材料浪费和生产设备的损坏。

2、避免设备使用劣质电力，降低工厂维护成本，保证产品质量。

3、避免因电压暂降造成数据和控制系统紊乱而导致的事故。

4、为用户节省维护及更换电池费用，同时免除废旧电池的处置问题，避免对环境造成污染。

5、无谐波注入电网，无需传统UPS所需附加的滤波设备投资。

干法基超级电容器在晃电治理中的工作原理

电网电压正常时：电网电压正常范围内时，DVR装置处于电网供电模式，电网直接给负载供电，同时 DVR变换器从输出侧获取能量给干法基超级电容充电；

电网出现晃电（电压暂降）时：电网电压暂降时， DVR装置处于供电模式，干法基超级电容的能量经 DVR变换器转换为标准电压源给负载供电。

其中，基于干法基超级电容器在应对晃电问题上具有高可靠性、高稳定性及高信赖性的优势。清研电子创新研发的干法基超级电容器，具备毫秒级充放电速度、响应速度小于5ms、突破100万次的循环寿命、较传统蓄电池提升50~100倍功率密度等优点。经测试，该装置能在3~5秒晃电条件下实现瞬间急速供电，且使用寿命长久，更换成本及维护工作量大幅降低，是晃电治理的优质之选。这一突破标志着我国在高端半导体配套电力保障领域取得关键技术自主权。

此次清研电子与东莞半导体制造头部企业达成合作，不仅是干法基超级电容器在电能质量治理场景的首次规模化落地，更成为清研电子从技术领先跃升为产业标杆的分水岭。依托合作单位开发的严苛的品控体系与全球交付网络，清研电子的干法工艺得以在真实工况中完成“最后1公里”验证，由此实现了由干法技术研发到系统级商业闭环的关键一跃，也为后续10 GW级的扩产和下一代120 Wh/kg高比能量型超级电容器技术迭代提供了可复制的产业范式。

本系统可广泛运用于半导体产业，AI数据中心，医疗中心等对电能质量高要求的供电系统中。